半导体OHT轨道

产品名称： 上海青浦OHT空中走行式搬送车轨道铝型材 半导体天车导轨 洁净厂房配套

产品分类： 自动化物流

产品应用： 半导体晶圆制造工厂AMHS系统、面板厂洁净室空中搬运、12英寸晶圆厂OHT天车轨道、FOUP空中搬送系统、半导体前后道制程设备间物料输送

工　艺： 挤压、开模、CNC精加工、阳极氧化

挤压长度： 20M

执行标准： GB/T 6892-2023、ISO9001

产品简介：

上海青浦OHT空中走行式搬送车轨道铝型材，专为半导体晶圆制造工厂AMHS自动物料搬送系统配套定制。OHT（Overhead Hoist Transport）即空中走行式搬送车，是半导体工厂实现全自动物料搬运的核心设备，悬挂在洁净室天花板轨道上运行。轨道采用高强度铝合金挤压成型，表面阳极氧化处理可有效减少颗粒生成，符合洁净室要求。直线段运行速度可达3.5m/s，转弯半径最小R500mm。定位精度可控制在±3mm以内。从开模、挤压到CNC精加工、表面处理全流程一站式交付，执行ISO9001质量管理体系。欢迎联系杜经理，电话：13611846009。

产品详情：

OHT（Overhead Hoist Transport）空中走行式搬送车，是半导体晶圆厂AMHS（Automatic Material Handling System）自动物料搬送系统的核心设备。OHT系统悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送FOUP（晶圆盒）或玻璃传送卡匣到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流。

OHT系统可有效利用制程设备上方空间，不占用洁净室地面空间，厂房高度约2.7米即可导入。轨道长度可从数百米延伸至数十公里，配合客户需求在不同制程区间或跨厂区进行串连搬送。

OHT轨道是本系统的核心承载部件。本产品面向半导体晶圆制造工厂AMHS系统、面板厂洁净室空中搬运开发，专为OHT天车配套定制悬挂行走轨道型材。适用于12英寸晶圆厂OHT天车轨道、FOUP空中搬送系统、半导体前后道制程设备间物料输送等场景。

轨道采用高强度铝合金挤压成型，轻量化、高精度、耐磨损，表面阳极氧化处理可有效减少颗粒生成，符合洁净室要求。轨道截面可集成滑触供电安装槽、通讯波导安装位、导向槽等功能结构，一体挤压成型。

01 品质从原材料开始
采用A00原生铝锭生产，不含废铝，材质均匀、力学性能稳定，确保OHT轨道在长期高速运行工况下的抗疲劳强度。阳极氧化铝材质可减少颗粒生成，满足洁净室环境要求。

02 高强度铝合金挤压成型
采用高强度铝合金挤压成形，轨道表面经阳极氧化处理，耐腐蚀、耐磨损、低颗粒产生。轨道截面可集成滑触供电安装槽、通讯波导安装位、导向槽等功能结构，一体挤压成型，减少后期加工工序。

03 高精度加工与定位精度
经CNC精密精加工，轨道表面平整无毛刺。定位精度可控制在±3mm以内。直线段运行速度可达3.5m/s，转弯段0.7m/s，转弯半径最小R500mm（45°/90°）。轨道接头平整无台阶，小车运行平稳顺畅。

04 全流程一站式交付
从开模、挤压到CNC精加工、表面处理一站式交付，客户只需对接一个供应商。支持来图定制轨道截面尺寸、轨道长度、转弯半径，减少现场加工工序。

加工能力参数：

产品特点：

• 高强度铝合金挤压成型，轻量化、高精度、耐磨损

• 阳极氧化表面处理，减少颗粒生成，符合洁净室要求

• 直线段运行速度≤3.5m/s，定位精度≤±3mm

• 转弯半径最小R500mm，适配紧凑空间轨道布局

• 轨道截面可集成滑触供电安装槽、通讯波导安装位等功能结构

• 不占用洁净室地面空间，厂房高度约2.7米即可导入

FAQ（常见问题）

Q1：OHT轨道和普通天轨/EMS吊轨有什么区别？

A： OHT轨道是半导体行业专用的空中轨道系统，与普通天轨和EMS吊轨有三大核心区别：一是洁净度要求——OHT轨道表面经阳极氧化处理，减少颗粒生成，适用于洁净室环境（Class 100-1000），普通天轨无此要求；二是精度要求——OHT轨道定位精度±3mm，直线速度3.5m/s，远超普通天轨；三是载重特性——OHT轨道载重≤40kg（适配FOUP晶圆盒），属于轻载高速高精度场景，而EMS吊轨和普通天轨载重可达500kg-2000kg。我司三种轨道均可定制，根据客户行业和场景选型。

Q2：OHT轨道的定位精度为什么要求这么高？

A： OHT小车需要在轨道上行走至指定工艺机台位置，通过升降机构抓取FOUP（晶圆盒）或玻璃传送卡匣并精准放入机台。晶圆盒内置25片12英寸晶圆，价值极高，任何定位偏差都可能导致晶圆破损或机台对接失败。±3mm的定位精度是半导体AMHS系统的标准要求，我司通过CNC精密加工和严格的直线度控制实现这一精度。

Q3：OHT轨道的转弯半径最小能做到多少？

A： 最小转弯半径R500mm（45°/90°转弯）。OHT系统需要在有限的洁净室空间内布局轨道网络，R500mm的最小转弯半径可有效减少轨道占用面积，提高空间利用率，使轨道能够灵活布局在制程设备之间的狭小通道上方。

Q4：OHT轨道为什么需要阳极氧化处理？

A： OHT轨道安装在洁净室天花板，洁净室对空气中颗粒物浓度有严格限制（Class 100-1000）。未经处理的铝合金表面在长期运行中会产生微量氧化粉末脱落，污染洁净环境。阳极氧化处理在轨道表面形成致密氧化膜，有效减少颗粒产生和脱落，同时提升耐腐蚀性和耐磨性，延长轨道使用寿命。

Q5：OHT轨道的运行速度是多少？

A： 直线段运行速度≤3.5m/s，转弯段运行速度≤0.7m/s。OHT系统在直线段高速行驶以提高搬运效率，转弯段减速保证安全平稳。速度设定可根据客户AMHS系统节拍要求调整，我司轨道设计适配主流OHT小车品牌的运行参数。

Q6：OHT轨道安装时需要注意什么？

A： OHT轨道安装在洁净室天花板，对安装精度和环境洁净度均有要求。安装前需确认天花板结构满足轨道承载要求；安装时采用激光对中仪校准直线度和水平度；轨道接头必须平整无台阶（接头缝隙≤0.5mm），避免小车运行时的振动和噪音。洁净室安装还需穿戴洁净服、使用洁净工具，避免安装过程中污染环境。建议由具备洁净室施工经验的团队安装。

Q7：OHT轨道可以适配哪些OHT小车品牌？

A： 可以。我司OHT轨道可适配日本大福（Daifuku）、村田（Murata）、SFA等主流OHT小车品牌，以及国产AMHS系统品牌。客户提供OHT小车技术参数或轨道接口图纸，我司可根据品牌规格定制匹配的轨道截面尺寸和安装接口。

Q8：OHT轨道安装时对洁净室环境有什么特殊要求？

A： OHT轨道安装在半导体洁净室内，对安装过程和轨道本体的洁净度均有严格要求。安装前，轨道型材需经超声波清洗或洁净室专用清洁剂擦拭，去除表面油脂和颗粒。安装人员需穿戴洁净服、洁净手套、洁净口罩，使用洁净工具（不锈钢材质、无尘纸、无尘布）。轨道拼接处建议在洁净棚或局部百级洁净环境下操作，确保拼接过程中不引入颗粒污染。安装完成后，轨道表面需用无尘布蘸取异丙醇擦拭一遍，确保颗粒数符合Class 100-1000洁净室要求。我司可配合客户洁净室管理要求，提供轨道出厂前的洁净包装和运输方案。

Q9：OHT轨道的振动控制如何保证？

A： OHT小车在轨道上高速运行（直线段≤3.5m/s），轨道系统的振动控制直接影响晶圆搬运的稳定性和FOUP内晶圆的微环境安全。我司通过三方面控制振动：一是轨道直线度严格控制在≤0.5mm/m，接头高差≤0.2mm，减少小车运行时的冲击激励；二是轨道安装时采用减震垫片或弹性吊架，隔离外部振动传递；三是轨道系统设计时考虑结构刚性与阻尼匹配，避免共振频率落在OHT小车激励频率范围内。建议安装完成后使用振动仪检测轨道系统在OHT小车运行时的振动水平，确保满足客户AMHS系统的振动控制要求。

典型应用场景：

• 半导体晶圆制造工厂AMHS系统

• 面板厂洁净室空中搬运

• 12英寸晶圆厂OHT天车轨道

• FOUP空中搬送系统

• 半导体前后道制程设备间物料输送

• 晶圆盒/玻璃传送卡匣跨区串连搬送