半导体OHT天轨

产品分类： 自动化物流

产品应用： 半导体晶圆制造工厂AMHS系统、12英寸晶圆厂OHT天车轨道、FOUP空中搬送系统、面板厂洁净室空中搬运、半导体前后道制程设备间物料输送、晶圆盒跨区串连搬送

工　艺： 挤压、开模、CNC精加工、阳极氧化

挤压长度： 20M

执行标准： GB/T 6892-2023、ISO9001

产品详情：

OHT（Overhead Hoist Transport）空中走行式搬送车，是半导体晶圆厂AMHS（Automatic Material Handling System）自动物料搬送系统的核心设备。OHT系统悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送FOUP（晶圆盒）到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流。

OHT系统可有效利用制程设备上方空间，不占用洁净室地面空间。轨道长度可从数百米延伸至数十公里，配合客户需求在不同制程区间或跨厂区进行串连搬送。OHT天车系统是300mm晶圆厂物流核心，通过高架轨道全自动搬运FOUP，日均运量超十万次。

OHT轨道是本系统的核心承载部件。本产品面向半导体晶圆制造工厂AMHS系统、面板厂洁净室空中搬运开发，专为OHT天车配套定制悬挂行走轨道型材。适用于12英寸晶圆厂OHT天车轨道、FOUP空中搬送系统、半导体前后道制程设备间物料输送等场景。

轨道采用高强度铝合金挤压成型，轻量化、高精度、耐磨损，表面阳极氧化处理可有效减少颗粒生成，符合洁净室Class 100标准要求。轨道截面可集成非接触供电及通信网络等功能结构。

01 品质从原材料开始
采用A00原生铝锭生产，不含废铝，材质均匀、力学性能稳定，确保OHT轨道在长期高速运行工况下的抗疲劳强度。阳极氧化铝材质可减少颗粒生成，满足洁净室环境要求。

02 高强度铝合金挤压成型
采用高强度铝合金挤压成形，轨道表面经阳极氧化处理，耐腐蚀、耐磨损、低颗粒产生。轨道截面可集成滑触供电安装槽、通讯波导安装位、导向槽等功能结构，一体挤压成型，减少后期加工工序。

03 高精度加工与定位精度
经CNC精密精加工，轨道表面平整无毛刺。定位精度可达±1mm，行走定位精度可达±3mm。直线段运行速度可达6m/s，转弯段运行速度可达1m/s。振动控制低于0.25g。轨道接头平整无台阶，小车运行平稳顺畅。

04 全流程一站式交付
从开模、挤压到CNC精加工、表面处理一站式交付，客户只需对接一个供应商。支持来图定制轨道截面尺寸、轨道长度、转弯半径，减少现场加工工序。

加工能力参数：

产品特点：

• 高强度铝合金挤压成型，轻量化、高精度、耐磨损

• 阳极氧化表面处理，减少颗粒生成，符合洁净室Class 100标准要求

• 直线段运行速度≤6m/s，定位精度≤±1mm，满足半导体晶圆厂高速高精度搬运需求

• 振动控制＜0.25g，保障先进制程芯片良率

• 轨道截面可集成非接触供电及通信网络等功能结构

• 不占用洁净室地面空间，适配半导体工厂紧凑空间布局

FAQ（常见问题）

Q1：OHT轨道和普通EMS吊轨有什么区别？

A： OHT轨道是半导体行业专用的空中轨道系统，与普通EMS吊轨有四大核心区别：一是洁净度要求——OHT轨道表面经阳极氧化处理，减少颗粒生成，符合洁净室Class 100标准，普通EMS吊轨无此要求；二是精度要求——OHT轨道定位精度±1mm，直线速度6m/s，振动控制＜0.25g，远超普通EMS吊轨；三是载重特性——OHT轨道载重≤40kg（适配FOUP晶圆盒），属于轻载高速高精度场景，EMS吊轨载重可达500kg-2000kg；四是功能集成——OHT轨道可集成非接触供电及通信网络等功能。我司两种轨道均可定制，根据客户行业选型。

Q2：OHT轨道的定位精度为什么要求±1mm？

A： OHT小车需要在轨道上行走至指定工艺机台位置，通过升降机构抓取FOUP（晶圆盒）并精准放入机台。12英寸晶圆盒内置25片晶圆，价值极高，任何定位偏差都可能导致晶圆破损或机台对接失败。±1mm的定位精度是半导体AMHS系统的标准要求，我司通过CNC精密加工和严格的直线度控制实现这一精度。

Q3：OHT轨道的振动控制为什么要求＜0.25g？

A： 半导体晶圆制造对振动极为敏感，尤其是先进制程（如7nm、5nm、3nm）对振动控制要求极高。OHT小车在轨道上高速运行时产生的振动若超过0.25g，可能影响晶圆在FOUP内的微环境稳定性，进而影响芯片良率。我司通过轨道高精度加工和接头平整处理，确保振动控制在0.25g以下。

Q4：OHT轨道的运行速度是多少？

A： 直线段运行速度≤6m/s，转弯段运行速度≤1m/s。OHT系统在直线段高速行驶以提高搬运效率，转弯段减速保证安全平稳。12英寸晶圆厂OHT系统日均运量超十万次，高速运行是保障产线效率的关键。

Q5：OHT轨道为什么需要阳极氧化处理？

A： OHT轨道安装在洁净室天花板，洁净室对空气中颗粒物浓度有严格限制（Class 100）。未经处理的铝合金表面在长期运行中会产生微量氧化粉末脱落，污染洁净环境。阳极氧化处理在轨道表面形成致密氧化膜，有效减少颗粒产生和脱落，符合半导体晶圆厂的洁净度要求。

Q6：OHT轨道的载重能力是多少？

A： OHT轨道载重≤40kg，适配12英寸FOUP（晶圆盒）的空中搬运。OHT系统通过升降机构直接抓取FOUP并运送到各工艺机台，FOUP内含25片12英寸晶圆，总重约20-40kg，我司轨道设计留有充分的安全裕量。

Q7：OHT轨道可以适配哪些OHT小车品牌？

A： 可以。我司OHT轨道可适配日本大福（Daifuku）、村田（Murata）、SFA等主流OHT小车品牌，以及国产AMHS系统品牌。客户提供OHT小车技术参数或轨道接口图纸，我司可根据品牌规格定制匹配的轨道截面尺寸和安装接口。

Q8：OHT轨道的截面设计对小车运行性能有何影响？

A： OHT轨道的截面设计直接影响小车的运行稳定性、供电可靠性和通讯质量。轨道截面需同时集成三个关键功能结构：滑触供电安装槽用于安装非接触供电线圈或滑触线，保障OHT小车在高速运行中的持续供电，安装槽位置精度应控制在±0.1mm以内，确保供电线圈与小车拾电器之间的间隙恒定；通讯波导安装位用于安装通讯波导或漏缆，实现OHT小车与控制系统的实时通讯，波导安装位需保证波导与轨道平行度≤0.2mm/m；导向槽用于小车行走轮的精准导向，导向槽直线度应≤0.2mm/m，槽壁粗糙度Ra≤0.8μm。轨道截面功能结构的集成度越高，小车运行越稳定、系统可靠性越强。

Q9：OHT轨道系统的轨道维护和颗粒控制如何管理？

A： OHT轨道安装在洁净室天花板（Class 100），轨道系统的维护和颗粒控制直接关系到洁净环境和晶圆良率。建议每季度进行以下维护：一是轨道表面清洁——使用无尘布蘸取异丙醇擦拭轨道表面和导向槽，去除运行中产生的微量颗粒，清洁后检测轨道表面颗粒数（≥0.1μm颗粒数应≤100个/ft²）；二是轨道接头处检查——使用塞尺检测接头缝隙和高差，缝隙≤0.5mm、高差≤0.2mm，超差需重新调整；三是滑触供电系统检测——检测供电线圈或滑触线磨损情况和接触电阻，接触电阻应≤10mΩ；四是轨道直线度复测——使用激光对中仪复测轨道直线度，偏差应≤0.3mm/m。建议每年进行一次轨道磨损检测，建立轨道维护档案，提前制定更换计划。

典型应用场景：

• 半导体晶圆制造工厂AMHS系统

• 12英寸晶圆厂OHT天车轨道

• FOUP空中搬送系统

• 半导体前后道制程设备间物料输送

• 面板厂洁净室空中搬运

• 晶圆盒跨区串连搬送