半导体OHT天轨

12英寸晶圆厂的AMHS系统日均运量超十万次，如何保证FOUP在洁净室环境中高速精准搬运？OHT小车在轨道上高速运行时，振动会不会影响晶圆微环境？洁净室天花板上的轨道，如何做到低颗粒产生？

这些问题，OHT轨道必须全部解决。

OHT（Overhead Hoist Transport）空中走行式搬送车，是半导体晶圆厂AMHS（Automatic Material Handling System）自动物料搬送系统的核心设备。OHT系统悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送FOUP（晶圆盒）到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流。

OHT系统可有效利用制程设备上方空间，不占用洁净室地面空间。轨道长度可从数百米延伸至数十公里，配合客户需求在不同制程区间或跨厂区进行串连搬送。OHT天车系统是300mm晶圆厂物流核心，通过高架轨道全自动搬运FOUP，日均运量超十万次。

OHT轨道是这套系统的核心承载部件。轨道采用高强度铝合金挤压成型，轻量化、高精度、耐磨损，表面阳极氧化处理可有效减少颗粒生成，符合洁净室Class100标准要求。轨道截面可集成非接触供电及通信网络等功能结构，一体挤压成型。适用于12英寸晶圆厂OHT天车轨道、FOUP空中搬送系统、半导体前后道制程设备间物料输送、面板厂洁净室空中搬运等场景。

核心优势速览：

优势维度	技术指标	客户价值
🏗️ 高速运行	直线段≤6m/s	保障晶圆厂AMHS系统搬运效率
🎯 超高定位精度	≤±1mm	FOUP精准对接工艺机台
📐 低振动控制	＜0.25g	保障先进制程芯片良率
🧹 洁净室适用	Class100	阳极氧化处理，低颗粒产生
🔌 功能集成	非接触供电+通讯波导安装位	小车运行供电通讯一体化
⚡ 快速交付	常规规格10-15天出样，50kg起订	项目周期可控

OHT轨道 vs 普通EMS吊轨：

对比维度	OHT轨道	普通EMS吊轨
洁净度要求	Class100洁净室	无特殊要求
定位精度	≤±1mm	±3-5mm
直线速度	≤6m/s	≤2m/s
振动控制	＜0.25g	无特殊要求
载重范围	≤40kg（FOUP晶圆盒）	500kg-2000kg
功能集成	非接触供电+通讯波导	滑触线供电
适用行业	半导体晶圆厂	一般工业

铝合金OHT轨道 vs 钢制轨道：

对比维度	铝合金OHT轨道	钢制轨道
密度	2.7g/cm³	7.8g/cm³
重量	轻	重
颗粒产生	低（阳极氧化）	高（生锈掉屑）
洁净室适用	适用	不适用
耐腐蚀性	优异	差
安装便捷性	高	低
维护成本	低	高

适用场景（对号入座）：

应用领域	典型用途	关键要求
半导体晶圆制造	AMHS系统OHT天车轨道	洁净度Class100、定位精度±1mm
12英寸晶圆厂	OHT天车轨道	速度6m/s、振动＜0.25g
FOUP空中搬送	晶圆盒自动搬运轨道	低颗粒、高精度
面板厂洁净室	空中搬送轨道	洁净度、低振动
半导体前后道制程	设备间物料输送轨道	高精度、可靠性

01 A00原生铝锭——OHT轨道的品质源头

采用A00级原生铝锭生产，不含废铝，材质均匀、力学性能稳定，确保OHT轨道在长期高速运行工况下的抗疲劳强度。阳极氧化铝材质可减少颗粒生成，满足洁净室环境要求。

02 高强度铝合金挤压成型——功能集成一体设计

采用高强度铝合金挤压成形，轨道表面经阳极氧化处理，耐腐蚀、耐磨损、低颗粒产生。

轨道截面可集成三大功能结构：

• 滑触供电安装槽：安装非接触供电线圈或滑触线

• 通讯波导安装位：安装通讯波导或漏缆

• 导向槽：小车行走轮精准导向

一体挤压成型，减少后期加工工序，保证功能结构的位置精度。

03 高精度加工与洁净室适配

经CNC精密加工，轨道表面平整无毛刺。

• 定位精度≤±1mm

• 行走定位精度≤±3mm

• 直线段运行速度≤6m/s

• 转弯段运行速度≤1m/s

• 振动控制＜0.25g

• 轨道接头平整无台阶，小车运行平稳顺畅

04 阳极氧化表面处理——洁净室Class100标准

表面经阳极氧化处理，在轨道表面形成致密氧化膜，有效减少颗粒产生和脱落，符合洁净室Class100标准要求。

• 无颗粒脱落，不污染洁净环境

• 耐腐蚀、耐磨损，延长使用寿命

• 适配半导体晶圆厂对洁净度的严格要求

05 全流程一站式交付——只对接一个窗口

从开模、挤压到CNC精加工、表面处理一站式交付，客户只需对接一个供应商。支持来图定制轨道截面尺寸、轨道长度、转弯半径，减少现场加工工序。

完整加工能力参数：

项目	参数/说明
适用场景	半导体晶圆制造AMHS系统、面板厂洁净室空中搬运
合金材质	6063-T5 / 6061-T6
表面处理	阳极氧化（减少颗粒生成，符合洁净室Class100）
直线段运行速度	≤6m/s
转弯段运行速度	≤1m/s
定位精度	≤±1mm
行走定位精度	≤±3mm
振动控制	＜0.25g
适用环境	洁净室（Class100）
载重能力	≤40kg（适配12英寸FOUP）
尺寸公差	±0.02mm至±0.04mm
功能集成	滑触供电安装槽、通讯波导安装位、导向槽
挤压长度	最长20M
挤压设备	600T-12000T（合作产线）
加工设备	CNC加工中心
执行标准	GB/T 6892-2023、ISO9001
起订量	50kg
生产产地	上海青浦

典型应用场景：

• 半导体晶圆制造工厂AMHS系统

• 12英寸晶圆厂OHT天车轨道

• FOUP空中搬送系统

• 半导体前后道制程设备间物料输送

• 面板厂洁净室空中搬运

• 晶圆盒跨区串连搬送

FAQ（常见问题）

Q1：OHT轨道和普通EMS吊轨有什么区别？

A：OHT轨道是半导体行业专用的空中轨道系统，与普通EMS吊轨有四大核心区别：一是洁净度要求——OHT轨道表面经阳极氧化处理，减少颗粒生成，符合洁净室Class100标准；二是精度要求——定位精度±1mm，直线速度6m/s，振动控制＜0.25g；三是载重特性——载重≤40kg（适配FOUP晶圆盒），轻载高速高精度；四是功能集成——可集成非接触供电及通信网络等功能。我司两种均可定制。

Q2：OHT轨道的定位精度为什么要求±1mm？

A：OHT小车需要在轨道上行走至指定工艺机台位置，通过升降机构抓取FOUP（晶圆盒）并精准放入机台。12英寸晶圆盒内置25片晶圆，价值极高，任何定位偏差都可能导致晶圆破损或机台对接失败。±1mm的定位精度是半导体AMHS系统的标准要求。

Q3：OHT轨道的振动控制为什么要求＜0.25g？

A：半导体晶圆制造对振动极为敏感，尤其是先进制程（如7nm、5nm）对振动控制要求极高。OHT小车在轨道上高速运行时产生的振动若超过0.25g，可能影响晶圆在FOUP内的微环境稳定性，进而影响芯片良率。通过轨道高精度加工和接头平整处理，确保振动控制在0.25g以下。

Q4：OHT轨道的运行速度是多少？

A：直线段运行速度≤6m/s，转弯段运行速度≤1m/s。OHT系统在直线段高速行驶以提高搬运效率，转弯段减速保证安全平稳。12英寸晶圆厂OHT系统日均运量超十万次，高速运行是保障产线效率的关键。

Q5：OHT轨道为什么需要阳极氧化处理？

A：OHT轨道安装在洁净室天花板，洁净室对空气中颗粒物浓度有严格限制（Class100）。未经处理的铝合金表面在长期运行中会产生微量氧化粉末脱落，污染洁净环境。阳极氧化处理在轨道表面形成致密氧化膜，有效减少颗粒产生和脱落，符合半导体晶圆厂的洁净度要求。

Q6：OHT轨道的载重能力是多少？

A：OHT轨道载重≤40kg，适配12英寸FOUP（晶圆盒）的空中搬运。FOUP内含25片12英寸晶圆，总重约20-40kg，轨道设计留有充分的安全裕量。

Q7：OHT轨道可以适配哪些OHT小车品牌？

A：可以适配日本大福（Daifuku）、村田（Murata）、SFA等主流OHT小车品牌，以及国产AMHS系统品牌。客户提供OHT小车技术参数或轨道接口图纸，我司根据品牌规格定制匹配的轨道截面尺寸和安装接口。

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